博士論文

薄膜SOI(Silicon On Insulator)のポテンシャルを制御する化学的・物理的手法の研究 : 完全空乏型電界効果MOSデバイス構造の基礎研究

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薄膜SOI(Silicon On Insulator)のポテンシャルを制御する化学的・物理的手法の研究 : 完全空乏型電界効果MOSデバイス構造の基礎研究

Call No. (NDL)
UT51-2006-D853
Bibliographic ID of National Diet Library
000008177886
Material type
博士論文
Author
佐藤康博 [著]
Publisher
[佐藤康博]
Publication date
2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (理学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ハクマク SOI Silicon On Insulator ノ ポテンシャル オ セイギョスル カガクテキ ブツリテキ シュホウ ノ ケンキュウ : カンゼン クウボウガタ デンカイ コウカ MOS デバイス コウゾウ ノ キソ ケンキュウ
Author/Editor
佐藤康博 [著]
Author Heading
佐藤, 康博 サトウ, ヤスヒロ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2004
Publication Date (W3CDTF)
2004
Extent
1冊
Alternative Title
Study on physical and chemical methods controlling the potential in ultra-thin-film silicon on insulator : basics of fully-depleted metal-oxide-semiconductor field-effect-transistor structures