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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造用JRR-3高性能シリコン照射装置の概念設計 (JAEA-technology ; 2007-33)

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中性子核変換ドーピングSi半導体(NTD-Si)製造用JRR-3高性能シリコン照射装置の概念設計

(JAEA-technology ; 2007-33)

Call No. (NDL)
Y251-H1588
Bibliographic ID of National Diet Library
000008603634
Material type
図書
Author
広瀬彰, 和田茂, 楠剛 [著]
Publisher
日本原子力研究開発機構
Publication date
2007.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
5, 87p ; 30cm
NDC
-
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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チュウセイシ カク ヘンカン ドーピング Si ハンドウタイ NTD-Si セイゾウヨウ JRR-3 コウセイノウ シリコン ショウシャ ソウチ ノ ガイネン セッケイ
Author/Editor
広瀬彰, 和田茂, 楠剛 [著]
Publication Date
2007.3
Publication Date (W3CDTF)
2007
Extent
5, 87p
Size
30cm