チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長

Call No. (NDL): Y151-H13450012
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009278658

Material type: 図書

Author: 西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]

Publisher: [西野茂弘]

Publication date: 2001-2002

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 3, 83枚

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type: 図書
Title: チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長
Title Transcription: チャネルエピタキシーホウニヨル Si キバンジョウエノ 3C-SiC ノケッショウセイチョウ
Author/Editor: 西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]
Author Heading: 西野, 茂弘ニシノ, シゲヒロ
京都工芸繊維大学キョウトコウゲイセンイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [西野茂弘]
Publication Date: 2001-2002
2003.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2002
Extent: 3, 83枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ヘテロエピタキシャル成長 / 3C-SiC / 立方晶SiC / 横方向成長 / チャネルエピタキシー / エアーブリッジ構造 / ファセット成長 / ELO ヘテロエピタキシャルセイチョウ / 3C-SiC / リッポウショウ SiC / ヨコホウコウセイチョウ / チャネルエピタキシー / エアーブリッジコウゾウ / ファセットセイチョウ / ELO
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450012
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450012
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009278658
http://id.ndl.go.jp/bib/000009278658
Bibliographic Record Category (NDL): 214