Siエピタキシャル基板への埋め込酸化膜形成に関する研究

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Material Type: 図書
Title: Siエピタキシャル基板への埋め込酸化膜形成に関する研究
Title Transcription: Si エピタキシャルキバンエノウメコミサンカマクケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 梅野正隆, 福井工業大学 [著]
Author Heading: 梅野, 正隆ウメノ, マサタカ
福井工業大学フクイコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [梅野正隆]
Publication Date: 2005-2006
2007.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2006
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 結晶工学 / LSI基板 / MBE / シリコン / SOI ケッショウコウガク / LSI キバン / MBE / シリコン / SOI
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17560014
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17560014
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009308255
http://id.ndl.go.jp/bib/000009308255
Bibliographic Record Category (NDL): 214