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低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

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低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

Call No. (NDL)
Y151-H17360121
Bibliographic ID of National Diet Library
000009605362
Material type
図書
Author
酒井洋輔, 北海道大学 [著]
Publisher
[酒井洋輔]
Publication date
2005-2007
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上
Title Transcription
テイユウデンリツ コウゼツエン タイリョク プラズマ タイセキ a-C : Fマク ニ ヨル キキ ゼツエン ノ ケイリョウカ ト タイデンアツ コウジョウ
Author/Editor
酒井洋輔, 北海道大学 [著]
Author Heading
著者 ： 酒井, 洋輔, 1944- サカイ, ヨウスケ, 1944- ( 01240935 )Authorities
北海道大学 ホッカイドウ ダイガク ( 00260056 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[酒井洋輔]
Publication Date
2005-2007
2008.4
Publication Date (W3CDTF)
2005
2007
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)