金属・半導体材料表面薄膜の化学的評価法の開発と表面分析用薄膜標準物質作製への展開

Call No. (NDL): Y151-H17550086
Bibliographic ID of National Diet Library: 000009608387

Material type: 図書

Author: 田中龍彦, 東京理科大学 [著]

Publisher: [田中龍彦]

Publication date: 2005-2007

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 金属・半導体材料表面薄膜の化学的評価法の開発と表面分析用薄膜標準物質作製への展開
Title Transcription: キンゾクハンドウタイザイリョウヒョウメンハクマクノカガクテキヒョウカホウノカイハツトヒョウメンブンセキヨウハクマクヒョウジュンブッシツサクセイエノテンカイ
Author/Editor: 田中龍彦, 東京理科大学 [著]
Author Heading: 田中, 龍彦タナカ, タツヒコ ( 01157228 )Authorities
東京理科大学トウキョウリカダイガク ( 00305981 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [田中龍彦]
Publication Date: 2005-2007
2008.5
Publication Date (W3CDTF): 2005
2007
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 解析・評価 / 亜鉛めっき鋼板 / シリコンウエハ / 薄膜標準物質 / 化学分析カイセキ・ヒョウカ / アエンメッキコウバン / シリコンウエハ / ハクマクヒョウジュンブッシツ / カガクブンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 17550086
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H17550086
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000009608387
http://id.ndl.go.jp/bib/000009608387
Bibliographic Record Category (NDL): 214