プラズマCVDを用いたアモルファス炭素系薄膜材料の形成プロセスの解析と構造評価

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Material Type: 博士論文
Title: プラズマCVDを用いたアモルファス炭素系薄膜材料の形成プロセスの解析と構造評価
Title Transcription: プラズマ CVD オモチイタアモルファスタンソケイハクマクザイリョウノケイセイプロセスノカイセキトコウゾウヒョウカ
Author/Editor: 和田晃 [著]
Author Heading: 和田, 晃ワダ, アキラ
Publication, Distribution, etc.: [和田晃]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 長岡技術科学大学
Date Granted: 平成23年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第575号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-H677
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011298516
http://id.ndl.go.jp/bib/000011298516
Bibliographic Record Category (NDL): 213