Investigation for controlling surface roughness and mechanical strength of CZ-silicon wafer with high-temperature annealing

• Material Type: 博士論文
• Title: Investigation for controlling surface roughness and mechanical strength of CZ-silicon wafer with high-temperature annealing
• Author/Editor: Koji Araki [著]
• Author Heading: 荒木, 浩司 アラキ, コウジ
• Publication, Distribution, etc.: [Koji Araki]
• Publication Date: [2011]
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高温アニールによるCZシリコンウェハーの表面粗さと機械的強度の制御に関する研究 コウオン アニール ニ ヨル CZ シリコン ウェハー ノ ヒョウメンアラサ ト キカイテキ キョウド ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京理科大学
• Date Granted: 平成23年3月20日
• Date Granted (W3CDTF): 2011
• Dissertation Number: 甲第999号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2011-S582
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023625887; http://id.ndl.go.jp/bib/023625887
• Bibliographic Record Category (NDL): 213