Studies on plasma etching process of low dielectrics for fine pattern profile control with less damage

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on plasma etching process of low dielectrics for fine pattern profile control with less damage
• Author/Editor: Hiroshi Yamamoto [著]
• Author Heading: 山本, 洋 ヤマモト, ヒロシ
• Publication, Distribution, etc.: [Hiroshi Yamamoto]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 低誘電率材料の微細パターン制御および低ダメージプラズマエッチングプロセスに関する研究 テイユウデンリツ ザイリョウ ノ ビサイ パターン セイギョ オヨビ テイダメージ プラズマ エッチング プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成24年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第9602号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-A728
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023666884; http://id.ndl.go.jp/bib/023666884
• Bibliographic Record Category (NDL): 213