電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第21回研究会 : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-86348-553-2
• Title: 電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第21回研究会 : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告
• Title Transcription: デンシ デバイス カイメン テクノロジー ケンキュウカイ : ザイリョウ ・ プロセス ・ デバイス トクセイ ノ ブツリ : ダイ21カイ ケンキュウカイ : オウヨウ ブツリ ガッカイ ハクマク ・ ヒョウメン ブツリ ブンカカイ / シリコン テクノロジー ブンカカイ キョウサイ トクベツ ケンキュウカイ ケンキュウ ホウコク
• Author/Editor: 応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会
• Publication Date: 2016.1
• Publication Date (W3CDTF): 2016
• Extent: 232p
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 電子部品 デンシブヒン ( 00561429 )Authorities; 界面化学 カイメンカガク ( 00564604 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549 : Electronic engineering
• NDLC: ND354
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 2016年1月22日-23日 東レ総合研修センター; 共同刊行: 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
• Note (Bibliography): 文献あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND354-L31
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 027058233; http://id.ndl.go.jp/bib/027058233
• National Bibliography No. (JPNO): 22690660
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111