次世代リソグラフィワークショップ予稿集 = NGL Workshop 2015 proceedings

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-86348-513-6
• Title: 次世代リソグラフィワークショップ予稿集
• Title Transcription: ジセダイ リソグラフィ ワークショップ ヨコウシュウ
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会次世代リソグラフィ技術研究会
• Publication Date: [2015]
• Publication Date (W3CDTF): 2015
• Extent: 78p
• Size: 30cm
• Alternative Title: NGL Workshop 2015 proceedings NGL Workshop 2015 proceedings; NGL Workshop 2015 proceedings
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: リソグラフィー--会議録 リソグラフィー カイギロク ( 001239319 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.7 : Electronic engineering
• NDLC: ND386
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 平成27年7月6日-7日 東京工業大学蔵前会館
• Note (Bibliography): 文献あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND386-L101
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 027422961; http://id.ndl.go.jp/bib/027422961
• National Bibliography No. (JPNO): 22764951
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

Technical Program

Oral Presentations 1

Monday 6 July - Kuramae Hall

Plenary Presentations

Session Chair: Sunao Ishihara (UTokyo)

シリコンフォトニクスとSi-CMOSプロセス

Silicon Photonics and Si-CMOS Process/ 1

Optical Lithography & Multiple Patterning Technology

Session Chair: Masato Hiroshima (Toshiba)