図書

電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第23回研究会 : 予稿集

Icons representing 図書

電子デバイス界面テクノロジー研究会 : 材料・プロセス・デバイス特性の物理 : 第23回研究会 : 予稿集

Call No. (NDL)
ND354-L56
Bibliographic ID of National Diet Library
028787700
Material type
図書
Author
応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編
Publisher
応用物理学会薄膜・表面物理分科会
Publication date
2018.1
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
264p ; 30cm
NDC
549
View All

Notes on use

Note (General):

会期・会場: 2018年1月19日-20日 東レ総合研修センター奥付のタイトル: 特別研究会研究報告共同刊行: 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
ISBN
978-4-86348-655-3
Title Transcription
デンシ デバイス カイメン テクノロジー ケンキュウカイ : ザイリョウ ・ プロセス ・ デバイス トクセイ ノ ブツリ : ダイ23カイ ケンキュウカイ : ヨコウシュウ
Author/Editor
応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編
Author Heading
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
Publication Date
2018.1
Publication Date (W3CDTF)
2018
Extent
264p