イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

• Material Type: 図書
• Title: イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
• Title Transcription: イオン コウガク ハンドブック : ナノテクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ ・ カコウ ・ イオン チュウニュウ ・ ヒョウメン カイシツ ・ デバイス オウヨウ ・ マイクロマシン トウ
• Author/Editor: 水野博之 監修; 平尾孝 編集委員長
• Author Heading: 監修者 ： 水野, 博之, 1929-2014 ミズノ, ヒロユキ, 1929-2014 ( 00103967 )Authorities; 編者 ： 平尾, 孝, 1940- ヒラオ, タカシ, 1940- ( 00215636 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 枚方 : イオン工学研究所 (出版)
• Publication Date: 2003.5
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1126 p
• Size: 27 cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• Subject Heading: ナノエレクトロニクス--便覧 ナノ エレクトロニクス ベンラン ( 031936871 )Authorities; イオン--便覧 イオン ベンラン ( 031936874 )Authorities; イオンビーム--便覧 イオン ビーム ベンラン ( 031936876 )Authorities
• NDC 10th ed.: 549.1 : Electronic engineering
• NDLC: ND2; ND351
• NDC (Introduction of Reference Books): 549.1
• Target Audience: 一般
• Note (General): 編集: 岩本信也ほか
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 68000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND2-M12
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 031881996; http://id.ndl.go.jp/bib/031881996
• National Bibliography No. (JPNO): 23636583
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

第1章 序論/ 1

第2章 基礎技術/ 7

2.1 気体と真空/ 8

2.1.1 気体の圧力と速度/ 8