TOF-SIMSによる半導体デバイスの不純物高感度元素分析

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Bibliographic Record

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Material Type: 記事
Title: TOF-SIMSによる半導体デバイスの不純物高感度元素分析
Author/Editor: 鮫島純一郎
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 東レリサーチセンター
Publication Date: 2016-03
Publication Date (W3CDTF): 2016-03
Periodical title: The TRC journal
No. or year of volume/issue: 2016年(3月)
Volume: 2016年(3月)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10122255
https://dl.ndl.go.jp/pid/10122255
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2016-07-07T11:50:30+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2016-04-20
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.toray-research.co.jp/new_bunseki/new_journal.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10122254
https://dl.ndl.go.jp/pid/10122254
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp