積層型機能性デバイスに向けたハイブリッド接合技術に関する研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10211427

Material type: 博士論文

Author: Nimura, Masatsuguほか

Publisher: -

Publication date: 2015

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 早稲田大学,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: 積層型機能性デバイスに向けたハイブリッド接合技術に関する研究
Author/Editor: Nimura, Masatsugu
仁村, 将次
Author Heading: Nimura, Masatsugu
仁村, 将次
Publication Date: 2015
Publication Date (W3CDTF): 2015
Alternative Title: Hybrid bonding technology for 3D integrated functional devices
Degree grantor/type: 早稲田大学
Date Granted: 2016-03-15
Date Granted (W3CDTF): 2016-03-15
Dissertation Number: 甲第4789号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第4789号
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 早大学位記番号:新7201
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10211427
https://dl.ndl.go.jp/pid/10211427
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2016-11-02T12:02:18+09:00
Date Created (W3CDTF): 2016-11-24
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2065/51158
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp