有機ケイ素ポリマーとオゾンの反応を利用した酸化シリコン膜の高品質化

• Material Type: 博士論文
• Title: 有機ケイ素ポリマーとオゾンの反応を利用した酸化シリコン膜の高品質化
• Author/Editor: 伊藤, 拓也
• Author Heading: 伊藤, 拓也
• Publication Date: 2015-03-24
• Publication Date (W3CDTF): 2015-03-24
• Degree grantor/type: 宮崎大学
• Date Granted: 2015-03-24
• Date Granted (W3CDTF): 2015-03-24
• Dissertation Number: 農工総博甲第95号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第95号
• Text Language Code: jpn
• Alias of Author: Ito, Takuya
• Target Audience: 一般
• Note (General): 2014年度
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10342093; https://dl.ndl.go.jp/pid/10342093
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-05-02T23:17:13+09:00
• Date Created (W3CDTF): 2020-06-21
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/10458/5335
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2022-02-06 再収集

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