付録 シラン系ガスの取り扱いと安全対策 (<講座>プラズマCVDの基礎)

• Material Type: 記事
• Title: 付録 シラン系ガスの取り扱いと安全対策 (<講座>プラズマCVDの基礎)
• Author/Editor: 松田,彰久
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 2000-10-25
• Publication Date (W3CDTF): 2000-10-25
• Alternative Title: Regulation and Safe Handling in Using Monosilane Gas (<Lecture Note>Introduction to Plasma CVD)
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 76(10)
• Volume: 76(10)
• Pages: 1074-1078
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: MATSUDA,Akihisa
• Subject Heading: plasma CVD; reactive plasma; monosilane; alarm system; safe handling
• Note (General): 著者所属: 電子技術総合研究所; Affiliation: Electrotechnical Laboratory
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10454181; https://dl.ndl.go.jp/pid/10454181
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388854; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388854
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: Legal regulations and safe handling during the use of toxic and explosive processing gas molecules such as monosilane are explained. It is concluded t...