レーザー生成スズプラズマからの極端紫外光発生の放射流体シミュレーション

• Material Type: 記事
• Title: レーザー生成スズプラズマからの極端紫外光発生の放射流体シミュレーション
• Author/Editor: 砂原,淳; 佐々木,明; 田沼,肇; 西原,功修; 西川,亘; 小池,文博; 藤岡,慎介; 青田,達也; 山浦,道照; 島田,義則; 西村,博明; 井澤,靖和; 宮永,憲明; 三間,圀興
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
• Publication Date: 2007-11-25
• Publication Date (W3CDTF): 2007-11-25
• Alternative Title: Radiation Hydrodynamic Simulation of Extreme Ultra-Violet Emission from Laser-Produced Tin Plasmas
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌
• No. or year of volume/issue: 83(11)
• Volume: 83(11)
• Pages: 920-926
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: SUNAHARA,Atsushi; SASAKI,Akira; TANUMA,Hajime; NISHIHARA,Katsunobu; NISHIKAWA,Takeshi; KOIKE,Fumihiro; FUJIOKA,Shinsuke; AOTA,Tatsuya; YAMAURA,Michiteru; SHIMADA,Yoshinori; NISHIMURA,Hiroaki; IZAWA,Yasukazu; MIYANAGA,Noriaki; MIMA,Kunioki
• Subject Heading: extreme ultra-violet emission; laser-produced tin plasma; lithography; radiation transport; radiation hydrodynamic simulation; multi-dimensional plasma expansion; photo-excitation; detailed configuration accounting; spectroscopy
• Note (General): 著者所属: レーザー技術総合研究所; 著者所属: 日本原子力研究開発機構関西光科学研究所; 著者所属: 首都大学東京理工学研究科; 著者所属: 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター; 著者所属: 岡山大学工学部; 著者所属: 北里大学医学部
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10456902; https://dl.ndl.go.jp/pid/10456902
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10388920; https://dl.ndl.go.jp/pid/10388920
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: 次世代の半導体露光用光源として注目されるレーザー生成スズプラズマからの極端紫外光(Extreme Ultra-Violet:EUV)を一次元,および二次元の放射流体コードを用いて解析した.我々は輻射過程を正確に計算するために,詳細原子コードを用いてスズプラズマのX線放射率,吸収率を計算し,その遷移エ...