214 スパッタリング法によるアルミナ薄膜の強度特性

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Material Type: 記事
Title: 214 スパッタリング法によるアルミナ薄膜の強度特性
Author/Editor: 斉藤,高廣
林,賢司
星出,敏彦
井上,達雄
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本材料学会
Publication Date: 1994
Publication Date (W3CDTF): 1994
Periodical title: 学術講演会講演論文集
No. or year of volume/issue: 43
Volume: 43
Pages: 57-58
Text Language Code: JPN
Note (General): 著者所属: 京都大学大学院
著者所属: 京都大学工学部
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10736047
https://dl.ndl.go.jp/pid/10736047
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: NII-ELS
Available (W3CDTF): 2017-08-30
Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10395254
https://dl.ndl.go.jp/pid/10395254
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp