少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定

• Material Type: 記事
• Title: 少量試料を用いた清浄な液体中微粒子数の測定
• Author/Editor: 野沢,明義; 井村,美奈子; 大高,好久
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1985-11-05
• Publication Date (W3CDTF): 1985-11-05
• Alternative Title: Dust counting in clean liquids using small amounts of samples
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 34(11)
• Volume: 34(11)
• Pages: T148-T151
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: NOZAWA,Akiyoshi; IMURA,Minako; OTAKA,Yoshihisa
• Subject Heading: dust counting in clean liquid; dust in photoresist; dust in gelatin
• Note (General): 著者所属: 三菱化成工業(株)総合研究所分析物性センター; Affiliation: Analysis Center, Research Center, Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10891081; https://dl.ndl.go.jp/pid/10891081
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399375; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399375
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: フォトレジスト,ゼラチン感光液などエレクトロニクス原料は清浄であることが要求されているが,高価であるため,その中に含まれる微粒子(ダスト)の数の測定には少量の試料しか使用を許されない.著者らはダスト計数の基準と考えられる濾渦検鏡法に基づく測定技術を開発した.この技術は,濾紙のから試験値の極端な低減を...