X線マイクロアナライザーによる半導体洗浄用薬品中の微粒子分析

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Material Type: 記事
Title: X線マイクロアナライザーによる半導体洗浄用薬品中の微粒子分析
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
Publication Date: 1992-02-05
Publication Date (W3CDTF): 1992-02-05
Periodical title: 分析化学
No. or year of volume/issue: 41(2)
Volume: 41(2)
Pages: 83-88
Text Language Code: JPN
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10892824
https://dl.ndl.go.jp/pid/10892824
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: NII-ELS
Available (W3CDTF): 2017-08-30
Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399450
https://dl.ndl.go.jp/pid/10399450
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp