オージェ電子分光法によるニッケル : クロム多層膜の深さ方向分析

• Material Type: 記事
• Title: オージェ電子分光法によるニッケル : クロム多層膜の深さ方向分析
• Author/Editor: 荻原,俊弥; 田沼,繁夫
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本分析化学会
• Publication Date: 1992-12-05
• Publication Date (W3CDTF): 1992-12-05
• Alternative Title: Auger sputter depth profiling analysis of Ni : Cr multilayer thin film
• Periodical title: 分析化学
• No. or year of volume/issue: 41(12)
• Volume: 41(12)
• Pages: T157-T161
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: OGIWARA,Toshiya; TANUMA,Shigeo
• Subject Heading: Auger sputter depth profiling analysis; nickel; chromium multilayer thin film; dependence of depth resolution on sputtering ion energy
• Note (General): 著者所属: 著者所属: 日本鉱業(株)研究開発本部分析研究センター; Affiliation: Affiliation: Analysis Research Center, Nippon Mining Co., Ltd.
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10892996; https://dl.ndl.go.jp/pid/10892996
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399460; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399460
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: オージェ電子分光法による深さ方向分析において, Ni/Cr多層膜を用いた場合のイオン加速電圧と深さ分解能の関係について検討した.イオン種にはAr^+を用い, イオン加速電圧は0.5〜3.0kVである.その結果, 深さ分解能はイオン加速電圧のl/2乗に比例することが分かった.そして, イオン加速電圧を...