Radiation effects of electron beams on polymer thin films in nanolithography

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10992323

Material type: 博士論文

Author: Dinh Cong Que

Publisher: Dinh Cong Que

Publication date: 2016

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 大阪大学,博士(工学)

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: Radiation effects of electron beams on polymer thin films in nanolithography
Author/Editor: Dinh Cong Que
Publication, Distribution, etc.: Dinh Cong Que
Publication Date: 2016
Publication Date (W3CDTF): 2016
Alternative Title: ナノリソグラフィーにおける高分子薄膜の電子線照射効果に関する研究
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 2016-09-23
Date Granted (W3CDTF): 2016-09-23
Dissertation Number: 甲第18630号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: eng
Alias of Author: Cong Que Dinh
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10992323
https://dl.ndl.go.jp/pid/10992323
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2017-11-22T15:30:23+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 非公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Note (Availability): 本博士論文は、学位授与機関からの申し出により国立国会図書館では閲覧できません。閲覧を希望される場合は、学位授与機関に直接お問い合わせください。
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp