ナノスケール半導体デバイスにおけるヴァーチャルメトロロジー技術を用いた最先端製造技術の実用化

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11012537

Material type: 記事

Author: 今井伸一ほか

Publisher: パナソニック

Publication date: 2009-10

Material Format: Digital

Journal name: パナソニック技報 55(3)

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Digital

Material Type: 記事
Title: ナノスケール半導体デバイスにおけるヴァーチャルメトロロジー技術を用いた最先端製造技術の実用化
Author/Editor: 今井伸一
安田哲
Publication, Distribution, etc.: 日本 : パナソニック
Publication Date: 2009-10
Publication Date (W3CDTF): 2009-10
Alternative Title: Practical application of leading-edge manufacturing technology using virtual metrology for nano-scale semiconductor devices
Periodical title: パナソニック技報
No. or year of volume/issue: 55(3)
Volume: 55(3)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11012537
https://dl.ndl.go.jp/pid/11012537
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2018-01-10T20:06:13+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2017-04-15
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10338396/www.panasonic.com/jp/corporate/technology-design/ptj/v5503.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11012526
https://dl.ndl.go.jp/pid/11012526
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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