博士論文
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X線光電子分光法によるHigh-kゲートスタック構造の電子状態および界面ダイポールに関する研究

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X線光電子分光法によるHigh-kゲートスタック構造の電子状態および界面ダイポールに関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11116722
Material type
博士論文
Author
藤村, 信幸
Publisher
-
Publication date
2018-03-26
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士(工学)
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Table of Contents

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
藤村, 信幸
Author Heading
Publication Date
2018-03-26
Publication Date (W3CDTF)
2018-03-26
Alternative Title
Study of Electronic States and Interfacial Dipoles in High-k Dielectric Gate Stacks by X-ray Photoelectron Spectroscopy
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
2018-03-26
Date Granted (W3CDTF)
2018-03-26