シリコンナノ構造体の製造技術と機械信頼性に関する研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11194667

Material type: 博士論文

Author: 藤井, 達也

Publisher: 兵庫県立大学

Publication date: 2016-03-22

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 兵庫県立大学大学院,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: シリコンナノ構造体の製造技術と機械信頼性に関する研究
Author/Editor: 藤井, 達也
Publication, Distribution, etc.: 兵庫県立大学
Publication Date: 2016-03-22
Publication Date (W3CDTF): 2016-03-22
Degree grantor/type: 兵庫県立大学大学院
Date Granted: 2016-03-22
Date Granted (W3CDTF): 2016-03-22
Dissertation Number: 甲第284号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第284号
Text Language Code: jpn
Note (General): 2015
元資料の権利情報 : CC BY-NC-ND
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11194667
https://dl.ndl.go.jp/pid/11194667
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2018-12-03T16:15:19+09:00
Date Created (W3CDTF): 2016-06-13
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://id.nii.ac.jp/1214/00000215/
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp