難加工基板の高効率・高精度研磨手法に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 難加工基板の高効率・高精度研磨手法に関する研究
• Author/Editor: 鬼木, 喬玄
• Author Heading: 鬼木, 喬玄
• Publication Date: 2017-12-27
• Publication Date (W3CDTF): 2017-12-27
• Alternative Title: Study on high efficiency and high precision polishing method for hard-to-process material
• Contributor: 鈴木, 恵友
• Degree grantor/type: 九州工業大学
• Date Granted: 2017-12-27
• Date Granted (W3CDTF): 2017-12-27
• Dissertation Number: 甲第331号
• Degree Type: 博士（情報工学）
• Conferring No. (Dissertation): 甲情工第331号
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: CMP; ポリシングパッド; パッド表面形状; パッド材料; モニタリング
• Target Audience: 一般
• Note (General): 九州工業大学博士学位論文 学位記番号：情工博甲第331号 学位授与年月日：平成29年12月27日; 平成29年度
• DOI: 10.18997/00006992; https://doi.org/10.18997/00006992
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11217127; https://dl.ndl.go.jp/pid/11217127
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2019-01-04T08:16:43+09:00
• Date Created (W3CDTF): 2018-12-03
• Format (IMT): application/pdf; PDF
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): https://doi.org/10.18997/00006992; http://hdl.handle.net/10228/00006992
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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