反応性スパッタ法によるアモルファス窒化炭素薄膜の作製と小型圧力センサー応用に向けた電気特性評価

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11295026

Material type: 博士論文

Author: 田村, 尚之

Publisher: 田村, 尚之

Publication date: 2016

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 大学評価・学位授与機構,博士(工学)

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: 反応性スパッタ法によるアモルファス窒化炭素薄膜の作製と小型圧力センサー応用に向けた電気特性評価
Author/Editor: 田村, 尚之
Publication, Distribution, etc.: 田村, 尚之
Publication Date: 2016
Publication Date (W3CDTF): 2016
Degree grantor/type: 大学評価・学位授与機構
Date Granted: 2016-03-11
Date Granted (W3CDTF): 2016-03-11
Dissertation Number: 第523号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11295026
https://dl.ndl.go.jp/pid/11295026
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2019-06-13T20:23:31+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 非公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Note (Availability): 本博士論文は、学位授与機関からの申し出により国立国会図書館では閲覧できません。閲覧を希望される場合は、学位授与機関に直接お問い合わせください。
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp