Control of Properties of Amorphous Carbon Thin Films by Internal Parameters of a Low-Temperature Plasma

• Material Type: 博士論文
• Title: Control of Properties of Amorphous Carbon Thin Films by Internal Parameters of a Low-Temperature Plasma
• Author/Editor: SUGIURA, Hirotsugu; 杉浦, 啓嗣
• Author Heading: SUGIURA, Hirotsugu; 杉浦, 啓嗣
• Publication Date: 2019-03-25
• Publication Date (W3CDTF): 2019-03-25
• Alternative Title: 低温プラズマの内部パラメータによるアモルファスカーボン薄膜の物性制御
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 2019-03-25
• Date Granted (W3CDTF): 2019-03-25
• Dissertation Number: 甲第12765号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第12765号
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11300315; https://dl.ndl.go.jp/pid/11300315
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2019-07-05T01:13:02+09:00
• Format (IMT): PDF; application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2237/00029940; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/27741
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2023-12-09 再収集

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