サファイア研磨における10nm以下のナノシリカ微粒子を適用した機能性ハイブリッドナノ微粒子の特異性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: サファイア研磨における10nm以下のナノシリカ微粒子を適用した機能性ハイブリッドナノ微粒子の特異性に関する研究
• Author/Editor: Bun-Athuek, Natthaphon
• Author Heading: Bun-Athuek, Natthaphon
• Publication Date: 2019-03-25
• Publication Date (W3CDTF): 2019-03-25
• Alternative Title: Novel Characteristics of Sub-10 nm Silica Particles for Hybrid Fine Particles in Chemical Mechanical Polishing of Sapphire
• Contributor: 鈴木, 恵友
• Degree grantor/type: 九州工業大学
• Date Granted: 2019-03-25
• Date Granted (W3CDTF): 2019-03-25
• Dissertation Number: 甲第341号
• Degree Type: 博士（情報工学）
• Conferring No. (Dissertation): 甲情工第341号
• Text Language Code: eng
• Subject Heading: Silica particles; Hybrid fine particles; Novel characteristics; CMP; Sapphire
• Target Audience: 一般
• Note (General): 九州工業大学博士学位論文 学位記番号：情工博甲第341号 学位授与年月日：平成31年3月25日; 平成30年度
• DOI: 10.18997/00007199; https://doi.org/10.18997/00007199
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11300851; https://dl.ndl.go.jp/pid/11300851
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2019-07-05T01:13:02+09:00
• Date Created (W3CDTF): 2019-06-13
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): https://doi.org/10.18997/00007199; http://hdl.handle.net/10228/00007199
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: The ultrafine silica particles size of smaller than 10 nm exhibit the unique characteristics to produce the hybrid fine particles for improving the pe...

Table of Contents

2023-08-05 再収集

2023-10-11 再収集