博士論文

スロット励起高密度マイクロ波プラズマの生成と樹脂表面処理への応用に関する研究

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スロット励起高密度マイクロ波プラズマの生成と樹脂表面処理への応用に関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11301802
Material type
博士論文
Author
笹井, 建典
Publisher
-
Publication date
2018-03-26
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士(工学)
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主論文ファイル公開2019年6月19日

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
笹井, 建典
Author Heading
Publication Date
2018-03-26
Publication Date (W3CDTF)
2018-03-26
Alternative Title
Study on Production of High Density Microwave Plasma with Slot-excited Antenna and its Application to Polymer Surface Treatment
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
2018-03-26
Date Granted (W3CDTF)
2018-03-26