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博士論文

TMS, TEOS, H2O vapours および N2 の電子衝突断面積と 電子輸送解析

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TMS, TEOS, H2O vapours および N2 の電子衝突断面積と 電子輸送解析

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11301874
Material type
博士論文
Author
川口, 悟
Publisher
-
Publication date
2018-03-23
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
室蘭工業大学,博士(工学)
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Note (General):

application/pdfコンピュータの性能向上とシミュレーション技法の発達によって,気体放電プラズマの高精度なシミュレーションが可能となり,シミュレーションから得られる化学種の生成量や時空間プロファイルに関する情報が,プラズマ中における化学反応過程の解明ならびにプラズマプロセスの性能の予測に不...

Detailed bibliographic record

Summary, etc.:

コンピュータの性能向上とシミュレーション技法の発達によって,気体放電プラズマの高精度なシミュレーションが可能となり,シミュレーションから得られる化学種の生成量や時空間プロファイルに関する情報が,プラズマ中における化学反応過程の解明ならびにプラズマプロセスの性能の予測に不可欠なものとなりつつある。プラ...

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  • 2023-09-05 再収集

  • 2023-09-05 再収集

  • 2023-12-15 再収集

  • 2023-12-15 再収集

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
川口, 悟
Author Heading
Publication Date
2018-03-23
Publication Date (W3CDTF)
2018-03-23
Degree grantor/type
室蘭工業大学
Date Granted
2018-03-23
Date Granted (W3CDTF)
2018-03-23
Dissertation Number
甲第412号