SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11479147

Material type: 博士論文

Author: 劉, 健男

Publisher: -

Publication date: 2019-03-22

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 千葉工業大学,博士(工学)

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究
Author/Editor: 劉, 健男
Publication Date: 2019-03-22
Publication Date (W3CDTF): 2019-03-22
Alternative Title: Study on Optimization of MEMS Capacitive Accelerometers Fabricated using SOI-MEMS Technology
Degree grantor/type: 千葉工業大学
Date Granted: 2019-03-22
Date Granted (W3CDTF): 2019-03-22
Dissertation Number: 甲第220号
Degree Type: 博士(工学)
Conferring No. (Dissertation): 甲第220号
Text Language Code: jpn
Subject Heading: SOI-MEMS技術
静電容量式マイクロ加速度センサ
小型化
SOI-MEMS Technology
MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated
Miniaturization
Note (General): 平成30年度
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11479147
https://dl.ndl.go.jp/pid/11479147
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2020-04-06T03:04:11+09:00
Date Created (W3CDTF): 2020-02-04
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://id.nii.ac.jp/1196/00000248/
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp