ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究

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ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11526581

Material type: 博士論文

Author: 清水, 悠佳

Publisher: -

Publication date: 2020

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 筑波大学 (University of Tsukuba),博士（工学） / Doctor of Philosophy in Engineering

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Material Type: 博士論文
Title: ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究
Author/Editor: 清水, 悠佳
Publication Date: 2020
Publication Date (W3CDTF): 2020
Degree grantor/type: 筑波大学 (University of Tsukuba)
Date Granted: 2020-03-25
Date Granted (W3CDTF): 2020-03-25
Dissertation Number: 甲第9377号
Degree Type: 博士（工学） / Doctor of Philosophy in Engineering
Conferring No. (Dissertation): 甲第9377号
Text Language Code: jpn
Note (General): 2019
DOI: info:doi/10.15068/00160552
https://doi.org/info:doi/10.15068/00160552
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11526581
https://dl.ndl.go.jp/pid/11526581
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2020-08-11T22:41:34+09:00
Date Created (W3CDTF): 2020-07-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2241/00160552
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp