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博士論文

タフなMEMSのためのマイナーメタルの微細加工プロセスの開発

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タフなMEMSのためのマイナーメタルの微細加工プロセスの開発

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11538590
Material type
博士論文
Author
Han, Gang
Publisher
-
Publication date
2020-03-23
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
新潟大学,博士(工学)
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Note (General):

新大院博(工)甲第502号開始ページ : 1終了ページ : 102

Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
Han, Gang
Publication Date
2020-03-23
Publication Date (W3CDTF)
2020-03-23
Alternative Title
Development of Minor Metal Micro-Fabrication Process for Tough MEMS
Degree grantor/type
新潟大学
Date Granted
2020-03-23
Date Granted (W3CDTF)
2020-03-23
Dissertation Number
甲第4767号