MRAM用高集積パターン磁性膜プラズマエッチング機構の解明

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Material Type: 博士論文
Title: MRAM用高集積パターン磁性膜プラズマエッチング機構の解明
Author/Editor: 佐竹, 真
Publication, Distribution, etc.: 佐竹, 真
Publication Date: 2018
Publication Date (W3CDTF): 2018
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 2018-03-22
Date Granted (W3CDTF): 2018-03-22
Dissertation Number: 甲第19629号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11556108
https://dl.ndl.go.jp/pid/11556108
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2020-10-15T22:50:40+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 非公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
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Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp