シリコンウエハ用サブナノ超高精度サイトフラットネス計測システムの構築

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Material Type: 博士論文
Title: シリコンウエハ用サブナノ超高精度サイトフラットネス計測システムの構築
Author/Editor: 田原, 和彦
Publication, Distribution, etc.: 田原, 和彦
Publication Date: 2020
Publication Date (W3CDTF): 2020
Degree grantor/type: 神戸大学
Date Granted: 2020-03-25
Date Granted (W3CDTF): 2020-03-25
Dissertation Number: 甲第7767号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11643248
https://dl.ndl.go.jp/pid/11643248
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2021-02-26T20:35:03+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Note (Availability): 本博士論文は、学位授与機関からの申し出により印刷できません。
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp