窒化物半導体における金属-絶縁膜-半導体構造の特性評価と界面制御に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 窒化物半導体における金属-絶縁膜-半導体構造の特性評価と界面制御に関する研究
• Title Transcription: チッカブツ ハンドウタイ ニ オケル キンゾク ゼツエンマク ハンドウタイ コウゾウ ノ トクセイ ヒョウカ ト カイメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 吉嗣, 晃治
• Author Heading: 吉嗣, 晃治
• Publication, Distribution, etc.: 奈良先端科学技術大学院大学
• Publication Date: 2016-03-24
• Publication Date (W3CDTF): 2016-03-24
• Alternative Title: Research on Characterizations and Interface Control of Metal-Insulator-Semiconductor Structure in Nitride Semiconductors
• Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
• Date Granted: 2016-03-24
• Date Granted (W3CDTF): 2016-03-24
• Dissertation Number: 甲第1349号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第1349号
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 窒化物半導体; パワー半導体; MIS界面; 高圧水蒸気処理; 原子層堆積法
• Target Audience: 一般
• Note (General): identifier:https://library.naist.jp/mylimedio/dllimedio/show.cgi?bookid=100214488
• DOI: 10.34413/dr.01349; https://doi.org/10.34413/dr.01349
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11691030; https://dl.ndl.go.jp/pid/11691030
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2021-07-05T22:24:43+09:00
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://dx.doi.org/10.34413/dr.01349; http://hdl.handle.net/10061/10629; https://naist.repo.nii.ac.jp/records/11653
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp