Studies on Sn Thin Film Decomposition Using VHF Hydrogen Plasmas

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11692481

Material type: 博士論文

Author: 吉, 梦然

Publisher: -

Publication date: 2021-03-24

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 九州大学,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: Studies on Sn Thin Film Decomposition Using VHF Hydrogen Plasmas
Author/Editor: 吉, 梦然
Publication Date: 2021-03-24
Publication Date (W3CDTF): 2021-03-24
Alternative Title: 高周波水素プラズマを用いたスズ薄膜の分解に関する研究
Contributor: 内野, 喜一郎
服部, 励治
林, 信哉
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 2021-03-24
Date Granted (W3CDTF): 2021-03-24
Dissertation Number: 甲第15607号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第15607号
Text Language Code: eng
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11692481
https://dl.ndl.go.jp/pid/11692481
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2021-07-05T22:24:43+09:00
Date Created (W3CDTF): 2021-05-20
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2324/4475167
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp