ステルスダイシング事業の競争力強化に関する研究 : タイムストレッチ技術を利用した低コヒーレンス干渉計測技術の開発

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Material Type: 博士論文
Title: ステルスダイシング事業の競争力強化に関する研究 : タイムストレッチ技術を利用した低コヒーレンス干渉計測技術の開発
Author/Editor: 星川, 雅春
Publication, Distribution, etc.: 星川, 雅春
Publication Date: 2021
Publication Date (W3CDTF): 2021
Degree grantor/type: 光産業創成大学院大学
Date Granted: 2021-09-17
Date Granted (W3CDTF): 2021-09-17
Dissertation Number: 甲第46号
Degree Type: 博⼠(光産業創成)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11777476
https://dl.ndl.go.jp/pid/11777476
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2021-10-07T19:21:50+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp