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博士論文

多層膜による微細多段フィン構造形成と樹脂への形状転写に関する研究

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多層膜による微細多段フィン構造形成と樹脂への形状転写に関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12213259
Material type
博士論文
Author
矢作, 徹
Publisher
矢作, 徹
Publication date
2021
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
山形大学,博士(工学)
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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
矢作, 徹
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2021
Publication Date (W3CDTF)
2021
Degree grantor/type
山形大学
Date Granted
2021-03-31
Date Granted (W3CDTF)
2021-03-31
Dissertation Number
甲第1424号