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博士論文

エレクトレットを利用した低消費電力MEMS静電アクチュエータとそのマイクロスピーカー応用に関する研究

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エレクトレットを利用した低消費電力MEMS静電アクチュエータとそのマイクロスピーカー応用に関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12232162
Material type
博士論文
Author
佐野, 智華子
Publisher
佐野, 智華子
Publication date
2020
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,博士(工学)
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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
佐野, 智華子
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2020
Publication Date (W3CDTF)
2020
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
2020-03-23
Date Granted (W3CDTF)
2020-03-23
Dissertation Number
甲第36940号