Vapor-Liquid-Solid法による炭化ケイ素エピタキシャル膜の結晶成長に関する研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12361331

Material type: 博士論文

Author: 山王堂, 尚輝

Publisher: -

Publication date: 2021-03-25

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: Tohoku University,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: Vapor-Liquid-Solid法による炭化ケイ素エピタキシャル膜の結晶成長に関する研究
Author/Editor: 山王堂, 尚輝
Author Heading: 山王堂, 尚輝
Publication Date: 2021-03-25
Publication Date (W3CDTF): 2021-03-25
Contributor: 松本祐司
Degree grantor/type: Tohoku University
Date Granted: 2021-03-25
Date Granted (W3CDTF): 2021-03-25
Dissertation Number: 甲第19856号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第19856号
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): type:博士学位論文 (Thesis(doctor))
課程
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12361331
https://dl.ndl.go.jp/pid/12361331
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2022-11-07T16:56:35+09:00
Date Created (W3CDTF): 2022-10-07
2021-03-25
Format (IMT): PDF
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/10097/00135729
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp