電子線描画装置の高度利用技術の開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12742420

Material type: 記事

Author: 中村一光ほか

Publisher: 日立評論社

Publication date: 1986-09-25

Material Format: Digital

Journal name: 日立評論 68(9)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 電子線描画装置の高度利用技術の開発
Author/Editor: 中村一光
鉾谷義雄
小西忠雄
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日立評論社
Publication Date: 1986-09-25
Publication Date (W3CDTF): 1986-09-25
Alternative Title: Improved software technologies for electron beam lithography
Periodical title: 日立評論
No. or year of volume/issue: 68(9)
Volume: 68(9)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12742420
https://dl.ndl.go.jp/pid/12742420
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2023-03-17T09:05:51+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2022-03-21
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/12199112/www.hitachihyoron.com/jp/archive/1980s/1986/09.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/12742417
https://dl.ndl.go.jp/pid/12742417
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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