AlScNチャネルトランジスタのコンタクト抵抗低減に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: AlScNチャネルトランジスタのコンタクト抵抗低減に関する研究
• Author/Editor: 片岡, 淳司; Kataoka, Junji
• Author Heading: 片岡, 淳司; Kataoka, Junji
• Publication Date: 2021-03
• Publication Date (W3CDTF): 2021-03
• Alternative Title: A Study on Low Resistance Ohmic Contact for AlScN Channel MOSFET
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 2021-03-26
• Date Granted (W3CDTF): 2021-03-26
• Dissertation Number: 甲第11927号
• Degree Type: 博士（工学）
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50566117
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/12910814; https://dl.ndl.go.jp/pid/12910814
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2023-07-08T03:42:28+09:00
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100844461
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2023-12-07 再収集