博士論文
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チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究

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チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12985039
Material type
博士論文
Author
梶原, 薫
Publisher
-
Publication date
2023-03-20
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
九州大学,博士(工学)
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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
梶原, 薫
Author Heading
Publication Date
2023-03-20
Publication Date (W3CDTF)
2023-03-20
Degree grantor/type
九州大学
Date Granted
2023-03-20
Date Granted (W3CDTF)
2023-03-20
Dissertation Number
甲第16616号