大気圧プラズマを用いたプラズマエッチング技術のX線結晶光学素子への応用

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大気圧プラズマを用いたプラズマエッチング技術のX線結晶光学素子への応用

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Bibliographic Record

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Material Type: 記事
Title: 大気圧プラズマを用いたプラズマエッチング技術のX線結晶光学素子への応用
Author/Editor: 佐野泰久
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 生産技術振興協会
Publication Date: 2023
Publication Date (W3CDTF): 2023
Alternative Title: Application of plasma etching technique using atmpspheric pressure plasma to X-ray crystal optical elements
Periodical title: 生産と技術
No. or year of volume/issue: 75(1)
Volume: 75(1)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13370447
https://dl.ndl.go.jp/pid/13370447
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2024-03-12T11:40:49+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2023-08-20
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://seisan.server-shared.com/75-1-pdf.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/13370443
https://dl.ndl.go.jp/pid/13370443
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp