多結晶ダイヤモンドにおける水素プラズマを用いた異方性エッチング機構の解析

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13698789

Material type: 博士論文

Author: 吉井, 大陸

Publisher: 吉井, 大陸

Publication date: 2023

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 奈良先端科学技術大学院大学,博士(工学)

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: 多結晶ダイヤモンドにおける水素プラズマを用いた異方性エッチング機構の解析
Author/Editor: 吉井, 大陸
Publication, Distribution, etc.: 吉井, 大陸
Publication Date: 2023
Publication Date (W3CDTF): 2023
Alternative Title: Analysis of anisotropic etching mechanism by hydrogen plasma on polycrystalline diamond
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 2023-03-31
Date Granted (W3CDTF): 2023-03-31
Dissertation Number: 甲第1974号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13698789
https://dl.ndl.go.jp/pid/13698789
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-06-07T15:23:07+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 非公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Note (Availability): 本博士論文は、学位授与機関からの申し出により国立国会図書館では閲覧できません。閲覧を希望される場合は、学位授与機関に直接お申し出ください。
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp