パルス変調マイクロ波励起の水蒸気プラズマを用いた高速フォトレジスト膜除去法の開発

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Material Type: 博士論文
Title: パルス変調マイクロ波励起の水蒸気プラズマを用いた高速フォトレジスト膜除去法の開発
Author/Editor: 相澤, 洸
Publication, Distribution, etc.: 相澤, 洸
Publication Date: 2022
Publication Date (W3CDTF): 2022
Degree grantor/type: 金沢大学
Date Granted: 2022-09-26
Date Granted (W3CDTF): 2022-09-26
Dissertation Number: 甲第5588号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13702335
https://dl.ndl.go.jp/pid/13702335
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-06-13T10:20:17+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp