SiC単結晶膜中欠陥の高分解能非破壊観察法の開発(電力中央研究所報告 Q04023)

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Material Type: 電子書籍・電子雑誌
ISBN: 4862160948
Title: SiC単結晶膜中欠陥の高分解能非破壊観察法の開発
Author/Editor: 鎌田功穂
土田秀一
三柳俊之
Series Title: 電力中央研究所報告 Q04023
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 電力中央研究所
Publication Date: 2005-09
Publication Date (W3CDTF): 2005-09
Alternative Title: Development of high-resolution and non-destructive observation techniques on SiC epilayers
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13743284
https://dl.ndl.go.jp/pid/13743284
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-09-24T13:05:27+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2024-09-24
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://criepi.denken.or.jp/hokokusho/pb/reportDetail?reportNoUkCode=Q04023
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp